图书名：集成电路制造工艺技术体系 978-7-03-050157-8 9787030501578 作者：严利人，周卫著

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978-7-03-050157-8

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书名: 集成电路制造工艺技术体系

ISBN: 978-7-03-050157-8

作者: 严利人，周卫著

出版社: 科学出版社

出版日期: 2017

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