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书名: 软X射线与极紫外辐射的原理和应用
ISBN: 7-03-010813-2
作 者: (美)D.阿特伍德著
出版社: 科学出版社
出版日期: 2003
简 介
本书主要介绍X射线与级紫外辐射的基本特性，讨论它们在半导体芯片制备等多个领域的广泛应用，并提供大量参考资料进行辅助讲述。
书名: 软X射线与极紫外辐射的原理和应用
ISBN: 7-03-010813-2
作 者: (美)D.阿特伍德著
出版社: 科学出版社
出版日期: 2003